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產品詳細信息 更多+
  • 金屬密封熱式質量流量控制器和儀表
詳細介紹
全能 MFC
型號 GF125 / GF126

GF125 系列產品是第二代多變量壓力變化補償型 (PTI) 金屬密封質量流量控制器和儀表,有著超快的響應速度和超高的純度。作為第一個將 PTI 質量流量控制技術引入市場的 GF125 系列產品最大限度降低了壓力和溫度波動導致的過程氣體流量變化。一臺采用標準 MultiFlo? 技術的 MFC 即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。

結果:降低了氣體顯示屏尺寸和成本,這得益于省去了壓力調節器、壓力傳感器和相關硬件的使用并輔以行業最佳的 PTI 性能以最大限度提高產率和生產效率。


概述

特點

  • 長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5%ar
  • 穩定時間極短:300 ms - <700 ms
  • 滿量程流速高達 300 slpm
  • 超高純度流路 - 4μ 英寸 Ra 表面處理
  • 符合 SEMI F20 標準的接液材料
  • 采用高速 ARM 處理器的耐腐蝕 Hastelloy? T-Rise 傳感器
  • 可進行快速反應的無隔膜閥組件不受壓差影響,并且測試表明產品經七百萬次循環無故障
  • MultiFlo? 技術擁有無與倫比的靈活性 — 一臺設備經編程設定后即可滿足數千種不同氣體和流量測量范圍配置的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
  • 本地顯示屏可指示流量、溫度、壓力和網絡地址以便于輕松解決供氣和隔離閥故障問題
  • DeviceNet?、RS-485 L-協議和模擬接口

優勢

  • GF125 系列產品通過將布魯克斯儀器的流量傳感器專利技術與能夠進行快速反應的無隔膜閥組件相結合,可將響應速度和穩定速度較之其他質量流量控制器提高 3 倍。
  • 經優化的接液流路,可提升干燥效果
  • MultiFloTM 技術可實現 MFC 流量測定量程的重新設定,通常是按 3:1 下調并且不影響精度,量程比或內漏率,以提供最佳的工藝和庫存靈活性
  • 全面的氣體數據庫為您提供最廣泛的氣體保護信息
  • 壓力變化補償 (PTI) 功能能夠克服傳統 MFC 的限制(受進氣壓力波動影響明顯)。產品效果表明其性能穩定并且可達到預期精度。
  • 便捷的用戶顯示屏和獨立的診斷/維護端口有助于設備安裝、監測和故障排除

關鍵應用

  • 半導體
  • MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)
  • 要求使用高純度全金屬流路的氣體流量控制應用

  

便捷的維護端口

  • 輕松進行診斷和故障排除
  • 不影響工具通信

用戶界面

  • 輕松安裝、啟動和操作

機械耦合閥

  • 耐腐蝕全金屬閥
  • 采用無隔膜設計并且不受壓差影響
  • 高速吹掃功能
  • 測試表明產品經四百萬次循環無故障

壓力傳感器

  • 不受輸送壓力擾動或波動影響的穩定流量控制

第二代溫升傳感器

  • 出色的長期穩定性(<+0.5% F.S/年)
  • 提高了信噪比
  • 高速吹掃功能
  • 可在較低溫度下工作,適用于易發生熱分解的氣體

溫度傳感器

  • 可在全溫度范圍內進行準確的流量和溫度測量
  • 實時補償環境溫度波動,實現準確的氣體化學控制



型號



GF125GF126
區別

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

High Flow Rate

流量范圍-滿量程容量3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

表面拋光4μ inch Ra4μ inch Ra
精度

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

重復性< ±0.15% S.P.< ±0.15% S.P.
響應時間-常閉

Normally Closed Valve

300ms (3-860 sccm N2 Eq.)

400ms (861-7200 sccm N2 Eq.)

500ms (7201-30000 sccm N2 Eq.)

<700ms (30001-55000 sccm N2 Eq.)

 

Normally Closed Valve

<1 sec

 

響應時間-常開

Normally Open Valve

<1.5 sec

Normally Open Valve

多氣體多量程MultiFlo? StandardMultiFlo? Standard
瞬時壓力波動不敏感

±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

Ability to measure inlet pressure

診斷能力

Status Lights - MFC Health, Network Status

Alarms - Control Valve Output, Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

模擬通訊

0-5 Vdc

0-5 Vdc

數字通訊

RS485 L Protocol

DeviceNet?

RS485 L Protocol

DeviceNet?

 


規格



產品類型

Mass Flow Controller

區別

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

性能
流量范圍-滿量程容量

3 sccm - 300 slm

精度

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F. S. 2-35%

重復性
< ±0.15% S.P.
線性

±0.5% F.S. (included in accuracy)

響應時間-常閉

300ms - < 1 sec

響應時間-常開

Normally Open Valve: <1.5 sec

(specific models only)

多氣體多量程
MultiFlo? Standard (most models)
瞬時壓力波動不敏感

<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

控制范圍

< 5 - 100%

Bin的數量

Standard GF Series: 11 bins

High Flow GF Series: 4 bins

閥門關閉

< 2% F.S.

零點穩定性
< ±0.5% F.S. per year 
溫度系數

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

機械
密封材料

Metal

純凈等級
4 - 5μ inch Ra
接液材料

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

閥門

Normally Closed

Normally Open (specific models)

Meter (no valve)

等級
最大溫度
50oC
壓差范圍

3-860 sccm = 7-45 psid

861 - 7200 sccm = 10 - 45 psid

7201 - 55000 sccm = 15 - 45 psid

51 - 300 slm = 30 - 90 psid

*Typical pressure drops. Contacts Brooks Technical Support for more information.

最大壓力

Standard GF Series: 100 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

漏率
1x10-10 atm cc/sec He
診斷和顯示
診斷能力
Available

狀態燈

MFC Health

Network Status

報警

Control Valve Output

Network Interruption

診斷/服務端口

RS485 via 2.5mm jack (all models)

顯示

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

電氣
模擬通訊

0-5 Vdc

數字通訊

DeviceNet?

RS485 L-Protocol

電氣連接

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet? via 5-Pin "M12" connector

Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

電源-功耗

Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet?: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

承諾
電磁兼容性

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

符合環保要求

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006







































































文檔


FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet - GF125pdfEnglish  Japanese
Data Sheet - GF126pdfEnglish
Installation & Operation ManualpdfEnglish
DeviceNet? Supplemental Manual - GF100 SeriespdfEnglish
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 SeriespdfEnglish



CAD Drawings


Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF125 - WX (Fitting) - GX (Connector) - STEP 

Model Series 
FittingConnectorFile Type 
 GF1xxAS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base STEP

CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal 
*DX - DeviceNet? 5 pin micro

VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR maleEX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base

WX - 1-1/8” body width, 92mm W SealGX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation


G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)


SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)


附件和軟件

0250 讀數應用
Controls and powers up to 4 devices
MultiFlo? 配置器
A comprehensive gas database enabling you to configure your MultiFlo? capable MFC for thousands of gas types and ranges without removing it from the gas line.





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電  話:0756-8604258           傳 真:0756-8604286 

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